IDX 是 Index System 的縮寫，不同的廠商，有不同的中文翻譯：索引傳送機、步進移送機、工位分度移送系統、基板交換單元、機臺接口搬送單元……

 

液晶顯示面板廠IDX設備

 

       IDX設備為單臺工藝設備腔體內部的LCD/OLED 大玻璃基板步進輸送機構，由搬運機器人、端口 Port、防護框架、控制單元組成，主要應用在Array 段（PVD、CVD、刻蝕、清洗、曝光）、Cell 段各類設備內部，把大尺寸玻璃基板，按工位一步一步分度移動，依次經過多個處理腔 / 處理工位。

       IDX設備特點：高精度定位：保證每一片玻璃停在工位的重復定位精度，直接影響鍍膜均勻、曝光對位良率。

液晶顯示面板IDX設備

專業術語解析

Array：Array 陣列段，LCD/OLED 面板制造第一道核心工藝工段，行業直接叫Array 工序 / Array 廠。

Array工藝內容：在玻璃基板上面制作一大堆規則排列的 TFT 薄膜晶體管陣列，也就是像素開關矩陣。具體流程：在裸玻璃上，反復做：鍍膜、光刻、蝕刻、剝離，一層一層把 TFT（薄膜晶體管）、像素電極做出來，形成密密麻麻像素開關陣列。

相關設備：光刻機、PVD、CVD、刻蝕機、IDX設備。

Cell：Cell成盒段，把 Array 基板（TFT 基板）和彩膜 CF 基板對盒，中間灌入液晶；做貼合、切割。

 

       廣科智能熟悉國際主流品牌的IDX設備，如Rorze Systems、Hirata、T-Robotics、Hanwha Momentum，可提供改造、國產替代、調試、維修、保養等服務。