收到一套三協半導體硅片取放機械手，本體0190-52910，控制柜0190-46909。 

       客戶說發生了撞機，錯誤代碼報了好幾個：“3-2-0（Controller）:發生了ABS無法信任錯誤”“5-5（Controller）：ENCODER通信錯誤：ENCODER通信TIMEOUT”“11-77-0(Ph.Axis3)：Encoder communication hardware Rx error.（TH2）”“11-82-0(Ph.Axis3)：Encoder communication hardware error.（TH2）”“11-75-0(Ph.Axis3)：Encoder communication data error.（TH2）”。客戶的技術員沒能檢查出原因。廣科維修師傅經過拆機檢查，上電檢測，最終鎖定異常，原因是三軸電機編碼器和控制柜通訊板發生了故障。

 

維修sankyo三協半導體硅片取放機械手0190-52910

 

維修sankyo三協半導體硅片取放機械手0190-52910

 

維修sankyo三協半導體硅片取放機械手0190-52910


半導體機器人可參與的工作內容： 

1、晶圓粗研磨（雙面機械拋光） 

半導體機器人將晶圓放置在上下研磨夾具之間，晶圓進行旋轉，同時研磨機對研磨夾具內進行磨料送料，進行兩面拋光。 

2、晶圓氧化處理工序

半導體機器人將晶圓放置在擴散爐中進行熱處理，通過高溫氧化處理使晶圓表面形成氧化層。 

3、晶圓清洗

半導體機器人將晶圓放置在清洗臺上，用化學藥劑和超純水清洗晶圓，以進行下一步高潔凈度、高良率的芯片制造制程。

4、晶圓檢查

半導體機器人將晶圓放置在晶圓AOI檢測器里，對晶片表面進行光學外觀檢查，檢查晶圓的平整度、厚度與氧化膜厚度。

5、晶圓包裝

半導體機器人將晶圓進行保護膜覆膜，并將覆膜完成的晶圓被放置在晶圓運輸箱中。