維修半導體專用安川機械手控制器ERCR-SS33-B000

 

       廣科師傅維修了一臺2008年產的安川機械手半導體版控制器ERCR-SS33-B000，該控制器可搭配安川雙臂晶圓搬運機器人XU-RC400M-B03，和XU-RC400M-B03。

 

維修半導體專用安川機械手控制器ERCR-SS33-B000

 

維修半導體專用安川機械手控制器ERCR-SS33-B000

 

維修半導體專用安川機械手控制器ERCR-SS33-B000

 

安川機械手半導體版控制器ERCR-SS33-B000特點：

超高定位重復精度，滿足微米級芯片處理的要求；

內置專用減振算法，確保晶圓拾取過程中無震動或刮擦；

標準化IO接口，兼容預對準器和真空傳感器；

內存大，可容納多套晶圓處理工藝；

采用高速數字信號處理器，確保快速響應；

內置高精度編碼器接口，兼容增量式與絕對值編碼器，實現精準閉環；

支持位置控制、速度控制及轉矩控制三種模式，并支持在線切換；

具備過流、過壓、欠壓及過熱多重硬件保護功能，提升系統安全性。

采用全金屬屏蔽外殼設計，具備較強的抗電磁干擾與輻射能力，適應半導體設備密集布線的環境。